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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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Pre-Aligner預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)SALN-612A-2V

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更新時(shí)間：2023-06-05 17:56:01瀏覽次數(shù)：273次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

定位精度高,對(duì)準(zhǔn)速度快,網(wǎng)絡(luò)化控制器,適用于Notch和Flat缺口類型,采用真空負(fù)壓吸附。

詳細(xì)介紹

晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)是晶圓搬運(yùn)以及整個(gè)IC制造過(guò)程中的重要環(huán)節(jié),晶圓的定位與識(shí)別都需要Pre-aligner的參與。晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)的目的是計(jì)算晶圓的偏心并找到其缺口,進(jìn)而補(bǔ)償其偏心并將缺口轉(zhuǎn)至一預(yù)設(shè)方向,為下一步的晶圓識(shí)別或處理做好準(zhǔn)備。新松Pre-Aligner具有定位精高、對(duì)準(zhǔn)速度快等優(yōu)點(diǎn)，大大縮短了晶圓的傳輸與處理時(shí)間，提高了晶圓的生產(chǎn)效率。


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