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大氣機(jī)械手Blade-DD250

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)， SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制

詳細(xì)介紹

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂優(yōu)化結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢(shì)來(lái)取放晶圓，允許更多的片盒直線排布，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)之選。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure		柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負(fù)載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度數(shù)DOF		4
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter		425mm
運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	330mm
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	330°
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	820mm
節(jié)拍 Swap time	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	＜1s（Home to Extend 800mm）
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	1s/180°
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	1.2s/330mm
重復(fù)定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.006°(3σ)
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	±0.1 mm(3σ)
行程		820mm
潔凈度Clean Class		ISO CLASS 1
主機(jī)重量Body Weight		70 kg
電源Power Supply		208VAC(50Hz/60Hz)