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深圳納恩科技有限公司
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產品簡介：產品簡介：NE-PE05 是一款小型真空等離子處理系統，廣泛應用于科研院校，企業研發單位···
NE-PE05是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量生產打 樣。設備采用進口品牌高性能旋片真空泵快速產生一個小于 1-2 Pa 的真空壓強，同時根據客戶工 藝要求，對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體，采用進口高品質等離子發生器，使得通入 的工藝氣體產生等離子體，并 確保穩定產生高密度，高能量 的離子。等離子體與材料發生 復雜的物理，化學反應，可以 實現不同的工藝功能，比如清 洗，活化，刻蝕與涂敷等。等 離子態顯著的特點是高均勻性 輝光放電，根據不同氣體發出 從藍色到深紫色的色彩可見光。
?耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置
?雙層托盤設計，可調節托盤間距
?8K 鏡面不銹鋼腔體，密封性
?可支持 13.56 MHz 射頻發生器，與網絡自動匹配(只對真空泵在系統外部)
?直觀的觸摸屏，過程參數實時監控。
?方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過聯鎖門或可移動的板
?兩個標準的電子質量流量控制器的氣體控制，有兩個額外控制器的選擇 ( 4 個)
| 序號 | 項目 | 型號規格 | 參數 |
| 1 | 等離子發生器 | 功率 | 0-300W可調 |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配，遠程通信控制 | ||
| 頻率 | 40KHz | ||
| 2 | 真空反應腔室 | 腔體材質 | 進口 316 不銹鋼，級密封 |
| 腔體容積 | 5L | ||
| 電極數量 | 1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼 托盤 | ||
| 腔體直徑（圓形） | 150（W）×280（D）mm | ||
| 有效處理范圍 | 130（W）*245(D)mm | ||
| 絕緣陶瓷 | 進口高頻陶瓷 | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數量 | 最小 2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮 氣，氫氣，四氟化碳等 | ||
| 4 | 整機參數 | 整機功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長*寬*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
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