磁流體密封、網(wǎng)絡(luò)化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)具有手臂長(zhǎng)度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動(dòng)態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能。

詳細(xì)介紹

機(jī)械手采用耐高溫手指有隔熱設(shè)計(jì)，可用于放置高溫托盤，短時(shí)間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設(shè)計(jì)理念降低了接觸面的表面粗糙度，加大熱阻。同時(shí)具有噪音小、振動(dòng)小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。具有更靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運(yùn)動(dòng)節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用，推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。

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