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成都維克安科技有限公司
初級(jí)會(huì)員·3年
MFC1氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MFC1 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問(wèn)次數(shù)：1653更新時(shí)間：2019-06-06 10:39:29
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER“（簡(jiǎn)稱MFC），它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。
產(chǎn)品介紹
氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
成都維克安科技有限公司
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn):精度高，重復(fù)性好。
氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
流量量程(N2)
2sccm 3sccm 5sccm 10sccm 20sccm 30sccm 50sccm 100sccm 200sccm 300sccm 500sccm 1slm2slm 3slm 5slm 10slm 20slm 30slm 50slm 100slm 150slm 200slm 250slm 300slm 500slm 750slm1000slm 1500slm 2000slm
產(chǎn)品精度
耐壓
全部 3MPa 10MPa
輸入輸出信號(hào)
全部 (0~5)VDC (1~5)VDC (0~20)mA (4~20)mA RS-485 DeviceNet Profibus
電源
全部 ±15V 24V ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | +1.0%F.S |
3 | 線性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | +0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
15 | 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
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