上海伯東 Hakuto 真空設(shè)備在真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用實(shí)例
PVD 真空鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù), 在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上. 真空鍍膜有三種形式, 即蒸發(fā)鍍膜, 濺射鍍膜和離子鍍. 目前市面上常見的進(jìn)口 PVD 鍍膜設(shè)備廠家主要有荷蘭豪澤 Hauzer, 瑞士 Platit, 瑞士巴爾查斯 Balzers, 德國萊寶 Leybold, 日本光馳 Optorun 等.

根據(jù)鍍膜對(duì)象常見的應(yīng)用主要包含裝飾鍍膜, 刀具鍍膜, 光學(xué)鍍膜, 硅片鍍膜等. 上海伯東 Hakuto 作為進(jìn)口真空設(shè)備代理商, 代理的品牌德國 Pfeiffer, 美國 Polycold 冷凍機(jī), 美國 KRI 離子源等廣泛應(yīng)用在真空鍍膜行業(yè).

上海伯東 Pfeiffer 分子泵鍍膜行業(yè)應(yīng)用：
由于目前對(duì) PVD 鍍膜設(shè)備的清潔度, 鍍膜層的質(zhì)量, 所用材料等要求的不斷提高, 傳統(tǒng)的以油擴(kuò)散泵為主的真空系統(tǒng)因油蒸汽污染等原因已經(jīng)無法滿足工藝要求. 因此以分子泵為主的無油真空鍍膜系統(tǒng)已逐漸成為鍍膜市場(chǎng)的主流, 上海伯東代理的德國 Pfeiffer 分子泵依靠自身過硬技術(shù)在分子泵領(lǐng)域一直處于主導(dǎo)地位并和國際, 國內(nèi)鍍膜涂層設(shè)備制造商長(zhǎng)期合作.

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)！Pfeiffer 分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 上海伯東 Hakuto 是德國 Pfeiffer 在國內(nèi)的代理商, 全權(quán)負(fù)責(zé) Pfeiffer 真空產(chǎn)品的銷售和維修服務(wù).

上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀鍍膜行業(yè)應(yīng)用：
鍍膜機(jī)需要在高真空環(huán)境下工作, 真空度的好壞直接影響鍍膜的品質(zhì). 有時(shí)候鍍膜機(jī)的真空度抽不下來或者真空度不好, 可能是接頭松動(dòng)或者有焊縫出現(xiàn)虛焊. 傳統(tǒng)的檢漏方法需要鍍膜機(jī)停機(jī)充氮?dú)? 再在懷疑有漏的地方涂上肥皂泡, 整個(gè)過程耗時(shí)費(fèi)力容易誤判, 對(duì)于細(xì)微的泄漏無法檢測(cè). 上海伯東代理 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體, 最小漏率小于 5E-13 Pa m3/s, 安全環(huán)保, 檢漏時(shí)不需要停機(jī), 直接在真空泵的旁路接入檢漏儀便可以快速高效的完成檢測(cè)了.


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀,從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東 Hakuto 是德國 Pfeiffer 在國內(nèi)的代理商, 全權(quán)負(fù)責(zé) Pfeiffer 真空產(chǎn)品的銷售和維修服務(wù).

上海伯東 Polycold 冷凍機(jī)真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
真空鍍膜機(jī)(濺鍍,蒸鍍)如果使用油擴(kuò)散泵抽真空, 腔體內(nèi)會(huì)殘留大量水汽和油蒸汽, 不但影響抽真空的時(shí)間, 水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源, 從而影響鍍膜產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量. 真空鍍膜設(shè)備通過加裝上海伯東代理的美國 Polycold 冷凍機(jī)（水汽深冷泵）在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣, 真空抽氣時(shí)間縮短 75%, 企業(yè)產(chǎn)能可增加 20% 到 99%, Polycold 冷凍機(jī)目前已廣泛加裝在日本光馳 Optorun. 日本新柯隆 Shincron, 德國萊寶 Leybold 真空鍍膜機(jī)中

上海伯東 Polycold 冷凍機(jī)利用新型無毒環(huán)保型冷媒, 可替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對(duì)比, 冷媒可循環(huán)使用,更加降低了企業(yè)成本. 與高溫烘烤方法對(duì)比, 高溫烘烤只是把水分子從基片表面遷移, 使基片減少對(duì)水蒸氣的吸附, 但是水蒸氣還是存在于腔體內(nèi), 依然影響抽氣效率。Polycold 冷凍機(jī)是將 90% 以上的水分子吸附在低溫盤管（Cryocoil）的表面, 同時(shí)吸附掉真空腔內(nèi)部分油分子, 如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱, 不僅能吸抽水汽還可以防止擴(kuò)散泵返油. 上海伯東是美國 Polycold 冷凍機(jī)中國地區(qū)總代理,全權(quán)負(fù)責(zé) Polycold 銷售和售后維修服務(wù).

上海伯東 KRI 離子源真空鍍膜行業(yè)應(yīng)用:
光學(xué)鍍膜 optics coating 在真空鍍膜中會(huì)出現(xiàn)膜層不均勻,或是產(chǎn)品膜層脫落等現(xiàn)象.上海伯東代理的美國 KRI 離子源在光學(xué)鍍膜中主要起到了預(yù)清潔及輔助鍍膜的作用,由于膜層表面很光滑,在鍍膜時(shí)會(huì)產(chǎn)生膜層脫落現(xiàn)象,預(yù)清潔就是將膜層表面用大的離子如 Ar打擊表面,使得制程物能有效的吸附在表面上.

1978 年 Dr.Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson,Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless, 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 30 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). 廣泛用于離子清洗.離子蝕刻, 輔助鍍膜領(lǐng)域. 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理

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上海伯東主營真空品牌:德國 Pfeiffer 真空設(shè)備;美國 Brooks Polycold 冷凍機(jī);美國 KRI 考夫曼離子源;美國 HVA 真空閘閥:美國 inTEST(Temptronic)高低溫循環(huán)試驗(yàn)機(jī);日本 NS 離子蝕刻機(jī)等。
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