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德國HNPM高性能泵mzr-7205在SUSS晶圓鍵合涂層設備應用

2022年08月17日 15:06赫爾納貿易(大連)有限公司點擊量:474

德國HNP Mikrosysteme(下文簡稱為“HNPM”)公司專注研發,制造和銷售微型齒輪微量泵。該泵能快速、精準輸送填充微量液體,并成熟應用與生命科學和分析儀器領域、機械和微型工程、化學和制藥工藝工程等領域。HNPM公司還提供開發配料系統的客戶定制服務。

HNPM微環形齒輪泵主要產品:

HNPM高性能泵、HNPM低壓泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵、HNPM磁性密封齒輪泵5個系列。


HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設備的應用案例:

SUSS MicroTec集團ACS200 GEN3自動涂布機既包含大量的創新設計,又結合了Gamma和ACS200Plus平臺的佳優點。多能夠配備4個涂膠顯影模塊和19個冷熱板,非常適合大規模生產。該平臺具有的模塊配置靈活性,其技術不僅可以滿足先進封裝、MEMS和LED等應用要求,同時也適合研發和大規模生產的需求。在這個平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205,實現了高精度、低脈動、低體積劑量,介質是丙酮與光刻膠。


SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求:

?低脈動、可重復的體積流量。

?體積流量與線速度的動態適應性。

?緊湊型計量泵

?集成微控制器

?控制系統的簡單集成


HNPM高性能泵mzr-7205特點:

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min,HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點高精度、低脈動、低體積劑量(即使是非潤滑液體)或高壓、緊湊設計和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內給藥,并顯示出較小的經濟尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業生產和工藝技術應用為主。HNPM高性能泵mzr-7205設計用于連續輸送和離散劑量的水、水溶液、溶劑、甲醇、油、潤滑劑、粘合劑、油墨和油漆以及其他高粘度液體。


HNPM高性能泵其他型號:

mzr-2505、mzr-2905、mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508等




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