感應（渦流）位移
工作原理
電感位移傳感器利用通過使其中產生的高頻磁場是一個高頻電流通過傳感器頭線圈。當一個金屬靶存在于磁場中，渦流垂直電磁感應引起的磁通量通路流過靶的表面上。這改變了傳感器頭線圈的阻抗。
電感式位移傳感器測量傳感器頭和目標之間的距離，基于該變化的振蕩狀態。
米銥電感位移傳感器利用這一經營方針兩種變體。
eddy3100系列
作為目標更接近傳感器頭，振蕩幅度和相位差變小從基準波形變大。通過檢測變化的幅度和相位，傳感器可以得到成比例的值的變化大約在傳感器頭和目標之間的距離。
幅度和相位的變化與距離
基于目標材料，值被數字化處理，并使用高精度線性化電路糾正。線性輸出正比于傳感器頭和目標之間的距離。
eddy3010系列
作為目標的途徑的傳感器，渦流和振蕩幅度的增加變小。振幅被整流和振幅變化被變換為直流電壓的變化。與其線性化電路，在EX-200系列校正輸出電壓-距離特性以優化線性。
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