熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)工作原理
　　
　　熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的實(shí)際就是利用在流體流動時(shí)流體與固體間的熱交換，通過測量熱量的傳遞、轉(zhuǎn)移和平衡來求得流體的流量。根據(jù)熱式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理，其有兩種測量質(zhì)量流量的不同方法：恒溫差法和恒功率法，兩種方法各有其優(yōu)缺，使用時(shí)應(yīng)根據(jù)具體環(huán)境和需要而定。
　　
　　熱式質(zhì)量流量計(jì)可分為：恒溫差法（功率消耗測量法）流量計(jì)和恒功率法（溫度測量法）流量計(jì)。從熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展歷史來看，恒溫差式流量計(jì)更先應(yīng)用于實(shí)際工業(yè)的介質(zhì)測量，這是因?yàn)楹銣夭钍綄?shí)現(xiàn)起來比恒功率式更加容易，所以從現(xiàn)在生產(chǎn)氣體質(zhì)量流量計(jì)的廠家來看，采用恒溫差原理的更多一些。但是隨著生產(chǎn)要求的不斷提高，恒溫差式流量計(jì)已經(jīng)很難滿足一些特殊生產(chǎn)的需要，這就使恒功率式流量計(jì)成為重點(diǎn)的研究方向。　　1恒溫差法
　　
　　檢測原理：恒溫差法（功率消耗測量法）是加熱元件的溫度高于氣體的溫度，氣體流過時(shí)帶走一部分熱量，保持加熱元件和被測氣體溫度差恒定在一定的溫差，控制和測量熱源提供的功率，功率消耗隨流量的增加而增加，由功率的消耗反映氣體流量。
　　
　　在測量管路中加入兩只金屬鉑電阻，一個(gè)鉑電阻加入較小的電流（電流在4mA以下，不會引起電阻發(fā)熱），用于測量被測流體溫度，稱為測溫電阻。另一個(gè)鉑電阻通入較大電流（電流一般在50mA以上），用于測量被測流體的速度，稱為測速電阻。根據(jù)熱擴(kuò)散原理，加熱物體被流體帶走的熱量與加熱物體與流體的溫差、流體的流速以及流體的性質(zhì)有關(guān)。工作時(shí)測溫電阻不斷檢測介質(zhì)溫度，測速電阻自加熱到一個(gè)高于流體的恒定溫度，流體流動時(shí)，由于散熱測速電阻表面溫度降低，測速電阻阻值發(fā)生變化，惠斯通電橋不平衡。通過由惠斯通電橋組成的反饋電路把溫差反饋到處理器來增大加熱器的電流（也可以是電壓）來保持其溫差為恒定。
　　
　　流體的流量與加入的電流（電壓）成比例關(guān)系：流體的流量越大，為維持恒定溫度差所加入的電流（電壓）越大。所以可以通過實(shí)驗(yàn)標(biāo)定出加熱電流（電壓）和質(zhì)量流量的關(guān)系，就可以通過電流（電壓）來計(jì)算出流體質(zhì)量流量。
　　
　　恒溫差式氣體質(zhì)量流量計(jì)存在問題：隨著介質(zhì)流量的增加，測速鉑熱電阻的熱量被迅速帶走，恒溫差式流量計(jì)要求對測速鉑熱電阻加熱的能量快速加大才能保證恒定的溫差。但是由于能量的增大受到電路本身功率的影響以及測速鉑熱電阻zui大允許電流的影響，其zui大可測量流量受到限制。
　　
　　2恒功率法
　　
　　檢測原理：是以恒定功率為鉑熱電阻提供熱量，使其加熱到高于氣體的溫度，流體流動帶走鉑熱電阻表面一部分熱量，流量越大，溫度降越大，測量隨流體流量變化的溫度，可以反映氣體流量。有以下兩種實(shí)現(xiàn)方式：
　　
　　（1）只對一只鉑電阻加熱，由熱擴(kuò)散原理測量溫差。
　　
　　原理：與恒溫差式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)類似，在測量管路中同樣加入兩個(gè)金屬鉑電阻，一個(gè)為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個(gè)為用于測量被測流體速度的測速電阻。在加熱器上加上一個(gè)恒定的功率對測速鉑電阻加熱，流體在靜止時(shí)測速鉑電阻和測溫鉑電阻表面溫度差ΔT21=TS2-TS1zui大，隨著介質(zhì)的流動，兩個(gè)鉑電阻表面溫度差減小。流體的流量越大，兩只鉑電阻的溫差越小。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應(yīng)流體流量。
　　
　　3兩種方案的比較和選擇
　　
　　恒溫差原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)的zui大優(yōu)點(diǎn)是比恒功率式氣體質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)的時(shí)間快。因?yàn)楹愎β适綔y量值從實(shí)際溫度變化獲得，測量管質(zhì)量和檢測元件質(zhì)量的熱慣性會降低響應(yīng)速度；恒溫差式的溫度分布沒有變化，不受檢測元件等質(zhì)量熱慣性影響。
　　
　　對于恒功率式氣體質(zhì)量流量計(jì)，它采用一個(gè)恒定的功率對鉑電阻加熱，較之恒溫差式氣體質(zhì)量流量計(jì)有如下優(yōu)點(diǎn)：
　　
　　（1）恒功率式流量計(jì)的zui大可測量流量較大，隨著介質(zhì)流量的增加，被加熱的鉑熱電阻的熱量被迅速帶走。對于恒溫差式流量計(jì)，它要求對被加熱電阻的能量快速加大才能保證恒定的溫差。但是由于能量的增大受到電路本身功率的影響以及被加熱的鉑電阻zui大允許電流的影響，其zui大值受到限制。而恒功率型的流量測量容易實(shí)現(xiàn)，通常恒功率原理的流量計(jì)對空氣的zui大可測量速度為488m/s，而恒溫差原理的流量計(jì)zui大可測速度只能達(dá)到38m/s。
　　
　　（2）恒功率流量計(jì)不容易受到臟濕介質(zhì)的影響。恒溫差流量計(jì)為了使其對溫度快速響應(yīng)和保持恒定的溫差，一般鉑電阻均做得比較細(xì)，而恒功率流量計(jì)卻可以做得粗（各生產(chǎn)廠不一樣尺寸也不一樣）。這樣對于臟濕介質(zhì)測量時(shí)，臟濕物質(zhì)對鉑電阻可能產(chǎn)生短暫的附著物（任何生產(chǎn)廠都對鉑電阻采用了拋光處理，長期附著物的產(chǎn)生是不大容易的）。對于較細(xì)的鉑電阻，其附著物對加熱鉑電阻的散熱會產(chǎn)生較大的影響，嚴(yán)重時(shí)使其測量精度大大降低。恒功率對臟濕介質(zhì)的測量會好很多。
　　
　　（3）恒溫差式流量計(jì)不對溫度的變化進(jìn)行補(bǔ)償，恒功率流量計(jì)卻能對溫度變化的全范圍內(nèi)進(jìn)行自動補(bǔ)償。*，熱流量和平衡常數(shù)是受溫度的變化而變化的，一般而言只在30℃的范圍內(nèi)為常數(shù)，當(dāng)測量的氣體溫度范圍超過這一數(shù)值時(shí)，氣體的熱流量系數(shù)和平衡常數(shù)均會發(fā)生變化。受電路設(shè)計(jì)的影響，目前市場上所有的恒溫差流量計(jì)均沒有對溫度進(jìn)行補(bǔ)償，而FCI公司采用恒功率方式的流量計(jì)均能對全溫度變化范圍內(nèi)的熱流量系數(shù)和平衡常數(shù)進(jìn)行自動補(bǔ)償。而介質(zhì)的溫度變化范圍受氣候或別的原因的影響是很難保持恒定的。
　　
　　（4）恒功率與恒溫差在耐高溫方面有著顯著的差異。目前而言，恒功率的zui高耐溫可以做到454℃，而恒溫差的流量計(jì)一般都在260℃以內(nèi)，這對于測量過熱蒸汽而言，其適應(yīng)性有很大的差別。
　　
　　從上述幾個(gè)方面的比較可看出，恒功率熱式氣體質(zhì)量計(jì)比恒溫差熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)有著顯著的*性。在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)中，恒溫差式響應(yīng)速度快，容易實(shí)現(xiàn)，所以目前大多數(shù)產(chǎn)品均采用該原理。