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ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器 21V系列

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更新時間：2024-11-13 13:44:41瀏覽次數(shù)：53次

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北京朗潤達(dá)科貿(mào)有限公司

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產(chǎn)品簡介

美國ALICAT 21V系列帶截止閥質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。應(yīng)用及案例● 大學(xué)/研究所● 真空行業(yè)及鍍膜● 半導(dǎo)體● 光伏● 過程工藝氣體測量

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特色

數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應(yīng)時間快僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣