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INFICON AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CS SKY電容膜片真

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更新時間：2024-08-12 16:24:12瀏覽次數(shù)：105次

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產(chǎn)品簡介

AllceramicTMCDG160A-C/CDG160A-CSSKY電容膜片真空計的詳細資料：SKYAllCeramicCDG160A-C是專為高要求應用（例如氧化，擴散和LPCVD）而設計的無金屬160oC溫控電容膜片真空計，所有暴露于真空的表面（例如管件，等離子屏蔽和污染保護罩）均由耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷構成，避免來自真空計規(guī)管的潛在性金屬污染

詳細介紹

AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CSSKY電容膜片真空計的詳細資料：

SKY AllCeramic CDG160A-C是專為高要求應用（例如氧化，擴散和LPCVD）而設計的無金屬160oC溫控電容膜片真空計，所有暴露于真空的表面（例如管件，等離子屏蔽和污染保護罩）均由耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷構成，避免來自真空計規(guī)管的潛在性金屬污染。

SKY AllCeramic CDG160A-C集成CDG160A系列真空計驗證的傳感器技術，在LPCVD和其它苛刻的半導體制造應用中達到高可靠和重復性的性能要求。

優(yōu)勢：

1、防止金屬污染的無金屬超純陶瓷結構。

2、溫度控制于160oC,防止

關鍵詞：真空計傳感器