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安華捷電子（深圳）有限公司
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補償式
補償式。
±200 SCCM、1000 SCCM 至 -600 SCCM：
±5.0 mbar、±10.0 mbar。
模擬輸出
利用微橋氣體質量流量傳感器技術。AWM1000 系列氣體質量流量傳感器具有標準 AWM2000 系列的所有優良性能，而且更加經濟實惠。此裝置提供準確、可重復的氣流傳感。傳感器與傳感器的可互換性規格約是 AWM2000 系列的兩倍。
根據操作規范的要求，同時具備加熱器控制電路和傳感橋供電電路。這兩種電路不在傳感器電路板上，因此必須在應用中提供。差分放大電路可能有助于提供輸出增益和/或將電壓偏置導入傳感器輸出。
AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。
不遵守這些說明可能會導致產品受損。
sensing-pressure-force-flow-rg.pdf
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