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SM-200/HP-200 組合式系統

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產品型號SM-200/HP-200

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更新時間：2024-04-07 09:50:12瀏覽次數：60次

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產品簡介

SM-200/HP-200 組合式系統 SAWATEC 的 SM-200/HP-200 是由 SM-200 勻膠和 HP-200 熱板組成的一個緊湊的柜式機，這種組合式系統非常適用于研究開發和試產項目。

詳細介紹

產品功能

● 閉合工藝室由 PETP 材質做成（碗和防濺環）

● RCCT 系統（旋轉閉合腔體技術 Round-Closed-Chamber-Technology）

● 高動態、直接驅動交流伺服電機

● 旋轉速度 6000 rpm +/-1 rpm（可選 10000）

● 可編程電驅動分配手臂，可靜態或動態滴膠

● 襯底通過真空固定和安全互鎖保護

● 一個滴膠臂，可放置 4 路液體管路

● 液體由玻璃瓶和精密計量泵來供應，包括低液體傳感報警

● PP材質的廢液桶，帶有高液位傳感器

產品功能

● 數字溫度控制及實時溫度顯示

● 重復工藝的快速啟動

● 自動溫度限幅開關，避免過熱

● 加熱工藝可編程多段式，每個工藝可設置 20 段

● 電動升降式載片頂針

● 配備安全玻璃，也方便清潔

● 熱板極速調平，避免光刻膠流動

● 用戶操作的工藝參數配置界面及觸摸屏

● 基片通過真空吸附固定

● 手動上下片

性能參數

● 均勻加熱區域：200mm × 200mm

● 溫度范圍：室溫到 250℃

● 溫度均勻性：100℃ 時溫差范圍 +/-0.6℃

● 電動驅動頂針的升降

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