2830 ZT 波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá) 300 mm）測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。

詳細(xì)介紹

持續(xù)的性能和速度

● 4 kW SST-mAX X射線管配備了 ZETA 技術(shù)，可消除X射線管老化效應(yīng)。這種性能可在X射線管整個(gè)壽命期間得到保持，同時(shí)高靈敏度與 ZETA 技術(shù)相結(jié)合，確保了在X射線管壽命期間可一直提供快速的分析和簡短的測(cè)量時(shí)間。ZETA 技術(shù)減少了對(duì)于漂移校正和重新校準(zhǔn)的需求，從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運(yùn)行時(shí)間。

正常運(yùn)行時(shí)間大大提升

● 傳統(tǒng)X射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā)，從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。使用此類X射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度，尤其是對(duì)于輕元素而言。

● 2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問題，從而大大提升了正常運(yùn)行時(shí)間并能隨著時(shí)間的推移維持儀器精度。

易于使用

● 2830 ZT 配置 SuperQ 軟件，該軟件包含了 FP Multi —— 一個(gè)專門針對(duì)多層分析開發(fā)的專用軟件包。該軟件的用戶界面確保即使是沒有經(jīng)驗(yàn)的操作員也能對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。

● 該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能方便研究者和工程師進(jìn)行靈活操作?？梢暂p松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

FALMO-2G

● FALMO-2G 可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中：從簡單的人工托架裝載到全自動(dòng)。靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能選擇 FOUP、SMIF 或開放式裝入端口，配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。各種配置的 FALMO-2G 均受到符合GEM300 的軟件支持。FALMO-2G 的占地空間大大降低，而沒有損失靈活性、功能。

樣品處理

● 直接進(jìn)樣 100 - 300 毫米的晶片；較小的尺寸可通過特殊適配器處理

● FOUP、SMIF、開放式載盤和手動(dòng)進(jìn)樣選項(xiàng)可用

● 高達(dá)每小時(shí) 25 塊晶片的樣品處理能力

X射線管

● SST-mAX⁷⁵，超尖銳端窗射線管，SST-mAX⁵⁰ 為選配

● 測(cè)量點(diǎn)尺寸 40 和 10mm；可測(cè)量其他點(diǎn)尺寸

● ZETA 技術(shù)

通道

● 最多 24 個(gè)固定通道

● 值 (M) 2 個(gè)測(cè)角儀

● 高性能硼通道，以獲得高靈敏度和處理量