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電子級(jí)雙氧水的顆粒管控淺議

閱讀:140發(fā)布時(shí)間:2023-7-19

什么是雙氧水

圖片1.png

 雙氧水也 叫過氧化氫,過氧化氫是一種重要 的化工 原料,化學(xué)式為 H2 O2。 過氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體 ,可任意比例與水混溶 ,是一種強(qiáng)氧化   ,水溶液俗稱雙氧水 ,為無色透明液體 。雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電  法 、蒽醌法 、異丙醇法 、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等 ,蒽醌法  生產(chǎn)雙氧水 的主要方法 ,  國 內(nèi) 99%以上 的雙氧水裝置采用該工 藝。

  雙氧水的作用

 氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí) 、食品級(jí) 、工業(yè)級(jí)等 。 電  級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路的化學(xué)試劑,在半導(dǎo)體制程前  端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑, 刻劑和光刻膠去除劑 ,還可用于高級(jí)絕緣層制取 ,電鍍液無機(jī)雜質(zhì)去   , 電子行業(yè)中銅 、銅合金和鎵 、鍺的處理 , 以及太陽能硅晶片的蝕刻  和清洗 。 從行業(yè)產(chǎn)量來看 , 2021 年我 國 高純 電子級(jí)雙氧水產(chǎn)量 9.44    ,  同 比增長 32.0%。

子級(jí)雙氧水屬于濕電子化學(xué)品 ,技術(shù)壁壘較高 。雙氧水的顆粒管控也   。 發(fā) 對(duì) 設(shè)  PMT-2 。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得 到廣泛應(yīng)用。



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