產品描述: MS763是一款生物學傳感器,所有的引線都在芯片的一側,適合用作植入式傳感器。焊盤都很大,以便焊接或粘接引線。壓力芯片的主要組成部分是MEMS硅片。植入電阻利用壓阻效應感應硅片的形變,并轉換成電信號。MS763有不帶耐熱玻璃的差壓傳感器(MS763-S)和帶0.2 mm厚Pyrex耐熱玻璃的絕壓傳感器(MS763-A)兩種型號。
特點:
- 未經補償的壓力芯片
- 尺寸小,用于植入式傳感器
- 引線在芯片一側
- 靈敏度:0.075mV/mmHg @ 5V
- 工作溫度:-40°C ~ +125°C
- 線性:0.15%(典型值)
- 芯片尺寸:1.0 x 2.20mm2
MS763是一個醫療用的絕壓或差壓傳感器。它被設計成植入型傳感器,所有的焊盤在一邊。邦定焊盤足夠大,方便粘接和邦定線。MS763的基礎組成是硅微機加工膜。植入的電阻利用壓阻效應感知膜的變形。MS763可作為壓差傳感器(MS763-S),沒有耐熱玻璃, 或絕壓傳感器,帶有0.2mm 耐熱玻璃(MS763-A).0 到300 mmHg 壓力范圍 (0.4bar 或5.8PSI);符合RoHS 和無鉛
全壓力范圍
Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
40 | 0.4 | 400 | 5.8 | 0.4 | 300 | 4.1 | 161 |
率
參數 | 符號 | 條件 | Min | Max | Unit |
供應電壓 | VS+ | Ta=25℃ | | 20 | V |
儲存溫度范圍 | Ts | | -40 | +125 | ℃ |
過壓 | | | | 20 | Bar |
電氣特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
參數 | 最小 | 典型 | | 單位 | 備注 |
工作壓力范圍 | 0 | - | 0.4 | Bar | |
工作溫度范圍 | -40 | | 125 | ℃ | |
橋路電阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
滿量程 | 18 | 22.5 | 27 | mV | |
零點 | -40 | 0 | 40 | mV | |
線性 | | ±0.15 | ±0.2 | %FS | 1 |
溫度系數 電阻 量程 零點 | +2400 -1500 -80 | +2800 -1900 | +3300 -2300 +80 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
壓力遲滯 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 |
重復性 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 |
溫度遲滯 | | | 0.3 | %FS | 5 |
訂購信息
產品 | 類型 | 產品說明 | 編號 |
MS763-A | Absolute | 300mmHg Pressure Sensor 0.2mm Pyrex sawn on b/f | |
MS763-S | Differential | 300mmHg Pressure Sensor sawn on b/f | |
The MS763 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings