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PY63110A系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

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PY63110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀一.功能描述：四點(diǎn)探針?lè)ǎ詣?dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理

詳細(xì)介紹

PY63110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

一.功能描述：

四點(diǎn)探針?lè)ǎ詣?dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻；可設(shè)定探針壓力值、測(cè)試點(diǎn)數(shù)、多種測(cè)量模式選擇；真空環(huán)境，可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.

二.適用范圍

晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測(cè)量等；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽(yáng)能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.

三.技術(shù)參數(shù)：

規(guī)格型號(hào)	PY63110A	PY63110B
1.電阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方塊電阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.電阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.測(cè)試電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度	±0.1%
6.電阻精度	≤0.3%
7.PC軟件操作	PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、2D、3D圖譜、壓力、報(bào)表生成等
8.壓力范圍選購(gòu)：	探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào)
9.探針	針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制
10.可測(cè)晶片尺寸選購(gòu)	晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式	單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試
12.加壓方式	測(cè)量重復(fù)性：重復(fù)性≤3%
13.安全防護(hù)	具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)
14.測(cè)試環(huán)境	真空
15.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<100W
16.選購(gòu)項(xiàng)目	電腦和打印機(jī) （選購(gòu)）（選購(gòu)）