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原理
從原子物理學(xué)的知識(shí)我們知道，對(duì)每一種化學(xué)元素的原子來說，都有其特定的能級(jí)結(jié)構(gòu)，其核外電子都以各自*的能量在各自的固定軌道上運(yùn)行，內(nèi)層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛，成為自由電子，我們說原子被激發(fā)了，處于激發(fā)態(tài)，這時(shí)，其他的外層電子便會(huì)這一空位，也就是所謂躍遷，同時(shí)以發(fā)出X射線的形式放出能量。由于每一種元素的原子能級(jí)結(jié)構(gòu)都是特定的，它被激發(fā)后躍遷時(shí)放出的X射線的能量也是特定的，稱之為特征X射線。通過測(cè)定特征X射線的能量，便可以確定相應(yīng)元素的存在，而特征X射線的強(qiáng)弱（或者說X射線光子的多少）則代表該元素的含量。
應(yīng)用
物質(zhì)成分分析 ①定性和半定量分析具有譜線簡(jiǎn)單、不破壞樣品、基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)較易克服、操作簡(jiǎn)便、測(cè)定迅速等優(yōu)點(diǎn)，較適合于作野外和現(xiàn)場(chǎng)分析,而且一般使用便攜式X射線熒光分析儀，即可達(dá)到目的。如在室內(nèi)使用X射線能譜儀,則可一次在熒光屏上顯示出全譜，對(duì)物質(zhì)的主次成分一目了然，有其獨(dú)到之處。
② 定量分析可分為兩類,即實(shí)驗(yàn)校正法（或稱標(biāo)準(zhǔn)工作曲線法）和數(shù)學(xué)校正法。它們都是以分析元素的 X射線熒光（標(biāo)識(shí)線）強(qiáng)度與含量具有一定的定量關(guān)系為基礎(chǔ)的。70年代以前，數(shù)學(xué)校正法發(fā)展較慢，主要用于一些組成比較簡(jiǎn)單的物料方面；大量采用的是實(shí)驗(yàn)校正法。其中常用的有外標(biāo)法、內(nèi)標(biāo)法、散射線標(biāo)準(zhǔn)法、增量法、質(zhì)量衰減系數(shù)測(cè)定法和發(fā)射－吸收法等。70年代以后，隨著X射線熒光分光譜法分析理論和方法的深入發(fā)展,以及儀器自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)化程度的迅速提高，人們普遍采用數(shù)學(xué)校正法。其中主要包括經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法、基本參數(shù)法和經(jīng)驗(yàn)系數(shù)與基本參數(shù)聯(lián)用法等。應(yīng)用這些方法于各種不同分析對(duì)象，可有效地計(jì)算和校正由于基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)對(duì)分析結(jié)果的影響。對(duì)于譜線干擾和計(jì)數(shù)死時(shí)間，也可以得到有效的校正。這些方法除基本參數(shù)法外，一般都比較迅速、方便，而且準(zhǔn)確度更高。在許多領(lǐng)域中，無論是少量或常量元素分析，其結(jié)果足與經(jīng)典的化學(xué)分析法媲美,因而在常規(guī)分析中，X射線熒光分析法和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起，并列為儀器分析的主要手段。
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