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TTS-2000 EFEM（兩工位EFEM）

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更新時間：2023-06-05 17:27:42瀏覽次數：441次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇過濾系統，可拆分的設備結構，從而保證設備潔凈、可靠的運行。

詳細介紹

EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復合運動實現取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構，保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設備的安全。

參數：

項目		Input信息
Wafer規格	材質尺寸	200mm/300mm wafer
	Alignment Mark	Notch/ Flat
	厚度	標準wafer
	溫度	≤200℃
與傳送片接觸處的材質		陶瓷
片盒規格（類型、廠家、段數、段間距等）		Foup/Adaptor
AMHS（自動物料搬送系統）要求		OHT
搬送精度（Alignment精度）		±0.1mm
Particle Spec		ISO Class 1
Throughput		>100wfrs/h
Stage數（LP數）		2
Load Lock	Stage數（LL）	2
	位置（XYZ）	兩個LL
	Wafer放置精度　X-Y	±0.1mm
	Wafer放置角度精度	/
整機規格		參照尺寸說明
Foot Print	Ｗ	≤2100
	Ｄ	≤750
	Ｈ	≤2500
重量		≤1200KG
整機設計參照標準		SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400
軟件界面設計參考標準		SEMI E30, E84