捷歐路JEOL JXA-8230 電子探針顯微分析儀可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器,組合使用WDS和EDS,能提供無縫、舒適的分析環境。
日本電子新開發出的EPMA (電子探針)秉承近半個世紀的EPMA的發展歷史,JXA-8230具備用戶友好的操作、通過新式簡單易用的PC 用戶界面提供完整范圍的高精度、快速分析,這是JEOL長年來對高可靠性硬件不斷改良的結果。JXA-8230電子探針是下一代能多種需求的強力分析工具之一。
捷歐路JEOL JXA-8230 電子探針顯微分析儀的EPMA快速啟動點擊任何一點,就能開始預設的EDS定性、定量分析或WDS分析。
檢測元素范圍 | WDS:(Be) /B~U, EDS:B~U |
X射線檢測范圍 | WDS檢測的波長范圍: 0.087~9.3nm, EDS EDS檢測的能量范圍: 20keV |
分光譜儀數量 | WDS: 1~5道可選、EDS: 1臺 |
樣品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm(H) |
加速電壓 | 0~30kV(以0.1 kV為步長) |
束流電流范圍 | 10-12 ~ 10-5 A |
束流電流穩定度 | 5%/h, ±0.3%/12h(W) |
二次電子分辨率 | 6nm(W), 5nm(LaB6) (W.D. 11mm, 30kV) |
掃描倍率 | ×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm) |
掃描圖像分辨率 | 5,120× 3,840 |
彩色顯示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
光學顯微鏡 | |
分辨率 | ~1um |
焦深 | 1um |
真空系統 | 機械泵、分子泵、離子泵 |
真空度 | 樣品室: 優于8.0 x 10-4Pa, 電子槍: 優于9.0 x 10-5Pa |