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聯系方式:陳經理查看聯系方式
更新時間:2023-07-04 13:36:30瀏覽次數:172次
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聯系人:陳經理
簡要描述: Rigaku ZSX Primus 400 連續波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 光譜儀為處理非常大或重的樣品而設計
Rigaku 的 ZSX Primus 400 連續波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 光譜儀為處理非常大或重的樣品而設計。該系統可接受直徑大為 400 毫米、厚度為 50 毫米和質量為 30 千克的樣品,非常適合分析濺射靶材、磁盤,或用于多層薄膜計量或大型樣品的元素分析。
優點
帶有定制樣品適配器系統的 XRF,適應特定樣品分析需求的多功能性,可使用可選適配器插件適應各種樣品尺寸和形狀。憑借可變測量點(直徑 30 毫米至 0.5 毫米,具有 5 步自動選擇)和具有多點測量的映射功能以檢查樣品均勻性。
具有可用相機和特殊照明的 XRF,可選的實時攝像頭允許在軟件中查看分析區域。
仍保留了傳統儀器的所有分析能力。
安全性
采用上照射設計,樣品室可簡單移出,再不用擔心污染光路,清理麻煩和增加清理時間等問題。
固體、液體、粉末、合金和薄膜的元素分析:
濺射靶材組成.
隔離膜:SiO2、BPSG、PSG、AsSG、Si₃N₄、SiOF、SiON等。
高 k 和鐵電介質薄膜:PZT、BST、SBT、Ta2O5、HfSiOx
金屬薄膜:Al-Cu-Si、W、TiW、Co、TiN、TaN、Ta-Al、Ir、Pt、Ru、Au、Ni等。
電膜:摻雜多晶硅(摻雜劑:B、N、O、P、As)、非晶硅、WSix、Pt等。
其他摻雜薄膜(As、P)、困惰性氣體(Ne、Ar、Kr等)、C(DLC)
鐵電薄膜、FRAM、MRAM、GMR、TMR;PCM、GST、GeTe
焊料凸點成分:SnAg、SnAgCuNi
MEMS:ZnO、AlN、PZT的厚度和成分
SAW器件工藝:AlN、ZnO、ZnS、SiO 2(壓電薄膜)的厚度和成分;Al、AlCu、AlSc、AlTi(電膜)
大樣本分析:大 400 毫米(直徑),大 50 毫米(厚度),高達 30 千克(質量)
樣品適配器系統,適用于各種樣本量
測量點:30 毫米至 0.5 毫米直徑,5步自動選擇
映射能力,允許多點測量
樣品視圖相機(可選)
分析范圍:Be - U
元素范圍:ppm 至 %
厚度范圍:sub Å 至 mm
衍射干擾抑制(可選):單晶襯底的準確結果
符合行業標準:SEMI、CE標志
占地面積小,以型號的 50% 占地面積
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