泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI

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產品型號Talysurf CCI

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更新時間：2023-04-17 11:12:18瀏覽次數：349次

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上海百賀儀器科技有限公司

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產品簡介

泰勒Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。

詳細介紹

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI簡介

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術參數
類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
分辨率： 0.1 A
測量點數： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點