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NanoCalc薄膜反射光譜儀系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號NanoCalc

品       牌

廠商性質其他

所  在  地深圳市

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更新時間:2025-03-21 09:27:58瀏覽次數:36次

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聯系人:呂先生

產品簡介

薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層...

詳細介紹

NanoCalc 薄膜反射測量系統

      薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。


     的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。


技術參數

入射角

90°

層數

3層以下

需要進行參考值測量

透明材料

傳輸模式

粗糙材料

測量速度

100ms - 1s

在線監測

可以

公差(高度)

參考值測量或準直(74-UV)

公差(角度)

參考值測量

微黑子選項

配顯微鏡

顯示選項

配顯微鏡

定位選項

6"和12" XYZ 定位臺

真空

可以


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