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數(shù)字式薄層電阻測試儀，四探針薄膜電阻測試儀

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產(chǎn)品型號ST2253

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更新時(shí)間：2022-07-03 15:28:00瀏覽次數(shù)：422次

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東莞市眾升儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

數(shù)字式薄層電阻測試儀，四探針薄膜電阻測試儀 ST2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導(dǎo)體材料的電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測量。

詳細(xì)介紹

一、數(shù)字式薄層電阻測試儀，四探針薄膜電阻測試儀主要特點(diǎn)：

儀器由主機(jī)、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機(jī)由配套軟件在PC機(jī)上操作，其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打印！

主機(jī)主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。

二、基本技術(shù)參數(shù)

2.1測量范圍

電阻率：10^-4～10⁵Ω-cm

方塊電阻：10^-3～10⁶Ω/□

電阻：10^-4～10⁵Ω

2.2可測半導(dǎo)體材料尺寸

直徑： Φ15～100mm, 長（或高）度： ≤400mm

2.3測量方位:

軸向、徑向均可

2.4. 4 1/2 位數(shù)字電壓表：

⑴量程： 200mV