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精密烤膠臺，高精度烘膠機

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更新時間：2022-05-07 12:44:31瀏覽次數：659次

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上海雋思實驗儀器有限公司

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產品簡介

精密烤膠臺，高精度烘膠機概述：用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（softbake），底膠涂覆（PrimerVapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝

詳細介紹

精密烤膠臺，高精度烘膠機概述：

用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩定度高，重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

精密烤膠臺，高精度烘膠機技術性能：

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸定制

控溫范圍：室溫--200、300/400/500/600℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：≤±0.5℃

溫度均勻性：≤±0.5/1℃

電源輸入：AC220V 10A

加熱功率：1500W

熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁制成

精密烤膠臺，高精度烘膠機特點：

穩定性能非常好，溫度穩定度可達±0.5℃。

溫度調節范圍寬：室溫-500℃