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更新時(shí)間：2021-11-06 16:43:50瀏覽次數(shù)：356次
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GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C. ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 ● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng) ● 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門(mén)，高真空機(jī)組 |
| 爐管 | ● 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 ● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 ● （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length ● （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length | |
| 功率 | 6KW | |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 加熱元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
| 工作溫度 | ● 工作溫度.: 1650°C ● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C | |
| 升溫速率 | ≤5°C/min | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | ● 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18") ● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 150 mm (6")(+/-1°C)注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 控溫儀表操作視頻 ● 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi) | |
| 真空法蘭 | ● 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 ● 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表 ● 兩個(gè)精密針閥 ● 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口 ● 一個(gè)1/4"卡套接頭 | |
| 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
| 高真空機(jī)組 | 功率 | 100~110W |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
| 殼體 | ● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 承載量:600 Lbs on top ● 分子泵控制面板:LCD 數(shù)字顯示 ● 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | |
| 控制面板 | ● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)） ● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率      | |
| 抽氣速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 極限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
| MFC 質(zhì)量流量控制器 | 殼體 | ● 采用 316不銹鋼制作 ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ● MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶(hù)要求定制  |
| 功率 | 18W | |
| 工作電壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 | |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ● CE 認(rèn)證 ● 所有電器元件（>24V）都通過(guò) UL / MET / CSA 認(rèn)證 ● 若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó) TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證 | |
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