當(dāng)前位置：昆山友碩新材料有限公司>>除泡機>>晶圓平坦化設(shè)備ELT

晶圓平坦化設(shè)備ELT

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號昆山友碩

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地蘇州市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：魏經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2020-10-20 17:07:35瀏覽次數(shù)：342次

聯(lián)系我時，請告知來自智慧城市網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  除泡機

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

昆山友碩新材料有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：41條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：魏經(jīng)理（銷售工程師）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

晶圓平坦化設(shè)備晶圓傳送機構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括晶圓傳送機構(gòu)本體9，晶圓傳送機構(gòu)本體9安裝在晶圓裝載卸載平臺11和晶圓傳送中轉(zhuǎn)平臺12外側(cè)的主機架10上，晶圓傳送機構(gòu)本體9的運行軌跡為往返晶圓裝載卸載平臺8與晶圓中轉(zhuǎn)平臺9。

詳細介紹

晶圓平坦化設(shè)備晶圓傳送機構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括晶圓傳送機構(gòu)本體9，晶圓傳送機構(gòu)本體9安裝在晶圓裝載卸載平臺11和晶圓傳送中轉(zhuǎn)平臺12外側(cè)的主機架10上，晶圓傳送機構(gòu)本體9的運行軌跡為往返晶圓裝載卸載平臺8與晶圓中轉(zhuǎn)平臺9。

　　所述的晶圓傳送機構(gòu)本體9包括步進電機1、*同步輪2、第二同步輪3、安裝板6和傳送手臂8，其中安裝板6一端設(shè)步進電機1，步進電機1連接*同步輪2，第二同步輪3設(shè)置在安裝板6另一端，*同步輪2和第二同步輪3上掛設(shè)同步帶7，同步帶7上連接有傳送手臂8。

　　所述的傳送手臂8上設(shè)氣缸或電缸4，氣缸或電缸4輸出端連接真空吸盤5，真空吸盤5外接真空產(chǎn)生單元。

　　步進電機1轉(zhuǎn)動時，可驅(qū)動傳送手臂8水平運動，氣缸或電機4則可驅(qū)動真空吸盤5做垂直運動，由真空產(chǎn)生單元產(chǎn)生真空驅(qū)動真空吸盤吸取晶圓，以上結(jié)構(gòu)可把晶元從晶圓裝載卸載平臺8搬運到晶圓中轉(zhuǎn)平臺9。

　　根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，工作時，晶圓研磨結(jié)束后卸載到晶圓裝載卸載平臺11上，晶圓傳送機構(gòu)本體9把晶元運送到晶圓傳送中轉(zhuǎn)平臺12。