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大氣機(jī)械手Blade-S175-Ex

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)，Mapping功能，SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制

詳細(xì)介紹

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用*的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢(shì)來(lái)取放晶圓，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)之選。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure		柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負(fù)載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度數(shù)DOF		3
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter		505mm
運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸) Up/Down(Z)-Axis	960mm
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	340°
	伸展軸 (R軸) Extension(R)-Axis	645mm
速度 Maximum Moving Speed	升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis	400mm/s
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	180°/s
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	＜0.8s（Home to Fullextension）
重復(fù)定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
潔凈度Clean Class		ISO CLASS 4
主機(jī)重量Body Weight		90 kg
電源Power Supply		VAC 220V±10%
行程		618mm