低溫等離子凈化設備又稱低溫等離子凈化設備。本工藝在電催化總的概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1、低溫等離子凈化設備微波激發區
本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較，在納秒的時間內作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，大的等離子體區，板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果。
2、低溫等離子凈化器離子體激發
本工藝有40支至240支充有氣體的無管組成的低溫等離子體激發區，本工藝借助低氣壓的無燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度地在無管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有強的能量平衡性，在粒子撞擊中失能少。
3、低溫等離子凈化器板區
根據被處體的流量，板間的電壓分12KV、16KV至42KV，板間加以足夠的電壓，在引風的作用下，區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。
根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，原廢氣的去除率非常理想，濃度廢氣去除率可達84%以上。
電催化氧藝集低溫等離子體、微波放電、板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的處理是為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成味的CO2、H2O以及其它價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
低溫等離子凈化設備采用了的吸附-分解-碳化，離心式抽風安裝-新工藝技術，采用模塊等優點，是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需再利用處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理新的一種原理。
