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SOI工藝加工等關鍵技術已突破
高鐵產業需要大量傳感器,一列8編組動車組需要上千傳感器,實時采集與監測車輛狀態數據。
到2020年,中國高鐵里程將新增5000公里,達3萬公里,而且還將提升智能化水平29048704。“這意味著對加速度、角度和溫度等傳感器的巨大需求。”秦勇表示。
來自中國中車和中國鐵建消息,2019年,“復興號”智能版列車將上線運行,在世界上*實現時速350公里自動駕駛;而中國鐵建電氣化局設計研發的高鐵供電線材之一,即棘輪智能在線監測裝置,在國內shou創組裝高精度角度傳感器、溫度傳感器和振動監測傳感器,其中角度傳感器測量精度±0.1°,溫度傳感器測量精度±0.1℃。
無疑,后續我國軌道交通行業仍需要大量傳感器。
“目前國產軌道交通裝備傳感器尚屬二代產品,仍以模擬量傳輸為主,易受干擾,同時在惡劣條件下發生故障后,尚無法實現自診斷,不具備自愈能力。”秦勇說,MEMS工藝就是要實現信號輸出從模擬改為數字,具備自校正、自診斷、自判斷和自愈能力。
MEMS加速度傳感器國產化替代正緊鑼密鼓。
“相關科研院所已突破高精度SOI工藝加工、圓片級可調阻尼封裝、低功耗ASIC集成電路等關鍵技術。”呂陽說。
SOI工藝,指在頂層硅和襯底硅之間,引入一層二氧化硅層,起絕緣和隔離作用。基于SOI工藝的MEMS器件具備工藝簡單、漏電流小、無閂鎖效應、電流驅動能力強等諸多優點。