壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出,所以被最常應(yīng)用在工業(yè)領(lǐng)域中。
壓力傳感器的種類(lèi)很多,根據(jù)不同的分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)可以分成不同種類(lèi)。其中比較常見(jiàn)的有:1.擴(kuò)散硅式壓力傳感器、2.電容式壓力傳感器。
1.擴(kuò)散硅式壓力傳感器。它的工作原理是基于壓阻效應(yīng),利用壓阻效應(yīng)原理,被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,利用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
它的特點(diǎn)是體積小、重量輕,性能穩(wěn)定,適合制作小量程的變送器,主要應(yīng)用于過(guò)程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門(mén)、液位測(cè)量、制冷設(shè)備和 HVAC 控制等行業(yè)。
2.電容式壓力傳感器。它是一種利用電容敏感元件將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極,當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。
它具有輸入能量低,高動(dòng)態(tài)響應(yīng),自然效應(yīng)小,環(huán)境適應(yīng)性好等特點(diǎn)。其中,陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、抗沖擊、無(wú)遲滯、介質(zhì)兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)可以廣泛應(yīng)用在水、氣、液多種介質(zhì)的壓力檢測(cè)。