ZKY-III真空度測試儀
主要特點:
SX-III型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我廠專家在磁控放電的研究中發現:在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此,我廠*了基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。
漏電電流的處理
對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性,并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
真空度測試儀完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時,測量時真空滅弧室會被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上,使其承受十分強的電沖擊。SX-III的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發生暫時工作不正常時(重新開機即可),也不會造成電路部分的損壞。
ZKY-III真空度測試儀
技術參數:
▲測量范圍: 1*10-5~1*10-1pa
▲測量誤差: l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5%
▲測量分辨率: 10-5pa
▲允許環溫: O℃~55℃
▲空氣濕度: <85%RH
▲電 源: AC220士10%
▲外型尺寸: 430X300X235mm