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微傳感器研究的現狀與性能發展方向

閱讀：567發布時間：2008-3-18

微機電系統（MicroelectroMechanicalSystems,MEMS）是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過幾十年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。目前，*有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中微傳感器占相當大的比例。微傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。本文概述國內外目前已實現的微機械傳感器特別是微機械諧振式傳感器的類型、工作原理、性能和發展方向。

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