英國CRESSINGTON離子濺射儀

產(chǎn)品范圍：

英國CRESSINGTON離子濺射儀、CRESSINGTON鍍碳儀、CRESSINGTON真空鍍碳儀、CRESSINGTON、CRESSINGTON鍍膜儀、CRESSINGTON鍍金儀、CRESSINGTON濺射鍍膜機

品牌介紹：

英國CRESSINGTON是業(yè)內(nèi)電鏡配套高性能鍍膜儀方案供應(yīng)商也是此類配套方案的，自從上世紀(jì)六十年代開始，伴隨著商業(yè)掃描電鏡的普及，CRESSINGTON的配套鍍膜設(shè)備也一并研發(fā)和配套使用，并獲得科研工作者*。經(jīng)過近六十年發(fā)展，英國CRESSINGTON依然只專注于顯微鏡配套鍍膜產(chǎn)品的設(shè)計研發(fā)和業(yè)內(nèi)性能市場地位，現(xiàn)階段已有超過六千客戶群，也是配套掃描電鏡的鍍膜儀品牌。其冷態(tài)濺射鍍膜技術(shù)不但可以獲得高質(zhì)量膜層，也解決了長久以來困擾用戶的熱損傷和熱變形問題，而其另一濺射電流回路設(shè)計也保證了真正均勻一致的鍍膜。

主要型號：

CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108

Cressington 108+108C高性能鍍金鍍碳儀簡介：

Cressington 108+108C 全自動鍍金鍍碳聯(lián)用儀是高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng) ，在保證高性能鍍膜同時，不會引起鍍金與鍍碳的相互污染，提高儀器使用效率以及鍍膜精度。

優(yōu)勢說明：

●自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

●通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

●在自動模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。

●數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

●*的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā)，無須切削或調(diào)整碳棒形狀。

●108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。

技術(shù)規(guī)格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)

樣品臺：可放置12個標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座，高度可在 60mm內(nèi)調(diào)節(jié)

濺鍍材料：Bradley 型高純度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt

濺鍍優(yōu)點：基于微處理器反饋控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；提供真空安全聯(lián)鎖裝置，最大180A，配有過流保護(hù)

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，最大電流40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb  電流: 0 - 200A

厚度監(jiān)測器： MTM-10高精度厚度監(jiān)測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統(tǒng))