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BPG400 大氣壓至超高真空真空計

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產品簡介

BPG400大氣壓至超高真空真空計INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10毫巴至大氣壓（3.8×10-10托至大氣壓）

詳細介紹

BPG400 大氣壓至超高真空真空計

BPG40x tiba15_31.png

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。

益處

測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
RoHS 合規
低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型		BPG400
測量范圍（空氣、O2、CO、N2）		5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
可重復性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，Z大	bar (absolute)	2
溫度
運行（環境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤，有延伸件	°C	150
在法蘭處烘烤，無延伸件	°C	80
移除烘烤電子設備	°C	150
電源電壓		+20 … +28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10
測量范圍	V	+0.774 … +10
電壓與壓強	volts per decade	0.75
錯誤信號	V	0.3 / 0.5
Z小負載電阻	k?	10
接口（數字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，Z大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護等級		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10-9 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協議		DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術規格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10-9 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
DeviceNet™ 電源電壓		+11 … +25
真空計電源電壓		+20 … +28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male

1) 除氣期間降低精度

2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允許使用現場總線

3) 適用于 RS232C 運行 <30m

零件號

BPG400
零件號	明細
353-500	BPG400 規管
353-500-11	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0	BPG400規管
353-502-A	BPG400規管
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display
353-501	BPG400 規管
353-502	BPG400 規管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	復合真空規
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R