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微氣體質(zhì)量流量計

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更新時間：2024-12-14 11:27:40瀏覽次數(shù)：62次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

一、產(chǎn)品概述
采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、技術參數(shù)
1.測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯(lián)系我們單獨標定
3.流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
4.工作溫度范圍：0-55℃；
5.工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
6.供電電源：24VDC±10%；
7.輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
8.環(huán)境溫度：0-55℃；
9.顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

三、工作原理

uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質(zhì)量流量。

四、產(chǎn)品特點

1.產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2.μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3.微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4.單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高。
5.機電一體化優(yōu)化設計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
5.結(jié)構的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。
6.采用新的MF傳感技術，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
7.零點自校功能，測量更準確。
8.多種氣體實際標定，全量程補償。
9.快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。
10.規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
11.精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12.的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
13.操作、設置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設定相關參數(shù)。
14.運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。

五、產(chǎn)品選型

型號	代號	說明
HLMF	—	微氣體質(zhì)量流量計
類型	M	質(zhì)量流量計
類型	C	質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品通徑	03	DN3
	06	DN6
	08	DN8
	10	DN10
流量范圍
被測介質(zhì)
壓力	0	≤0.3Mpa
	1	≤0.6Mpa
	2	≤1.0Mpa
材質(zhì)	0	304不銹鋼
	1	316不銹鋼
	2	316L不銹鋼
	3	鋁
	4	其他
顯示與輸出	01	有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出
	02	有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出
	03	有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出
	04	有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出
	05	無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出
	05	無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出
標定方式	0	空氣
	1	氫氣
	2	氧氣
	3	氮氣
連接形式	0	快速接頭
連接形式	1	法蘭式
接頭類型	0	普通
	1	Swagelok接頭
	2	其他