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技術(shù)文章

德國(guó)thyracont鍍膜真空計(jì)

閱讀:240          發(fā)布時(shí)間:2023-12-29

德國(guó)Thyracont公司致力于研發(fā)和生產(chǎn)智能真空測(cè)量?jī)x表以及控制儀表

Thyracont真空計(jì)包括了薄膜規(guī),電容規(guī),電阻規(guī),皮拉尼,熱陰極,冷陰極,以及復(fù)合真空規(guī),滿足不同量程的需求。

 

Thyracont真空計(jì)在薄膜鍍膜中有很好地應(yīng)用,BteBedampfungstechnik GmbH作為光學(xué)鍍膜的企業(yè),其核心競(jìng)爭(zhēng)力是用于技術(shù)應(yīng)用的光學(xué)元件鍍膜。多年來(lái),Bte 一直信任 Thyracont 的真空儀器。

 

BteBedampfungstechnik GmbH 在玻璃、金屬和塑料上涂覆光學(xué)功能層。為此,金屬(金、銀、鋁)或所謂的電介質(zhì)在高真空中汽化。為了確保正確的汽化過程,控制和管理前級(jí)真空室中的壓力和高真空室中的壓力非常重要。只有當(dāng)壓力在規(guī)定的范圍內(nèi)時(shí),才能保證汽化產(chǎn)品的良好質(zhì)量。

為了控制真空,使用了VSH88D(皮拉尼/熱陰極)和VSP63MV(皮拉尼,模擬)真空傳感器。這些真空計(jì)控制和管理前真空和高真空泵站的功能,控制和調(diào)節(jié)氣體劑量,這是過程所必需的。

 

Thyracont真空計(jì)在鏡面鍍膜中有很好地應(yīng)用

在激光諧振器反射鏡的光學(xué)鍍膜過程中,典型的過程壓力高于 2e-3 mbar。


合適的真空傳感器必須能夠監(jiān)測(cè)涂層過程中的過程壓力以及真空室中可用的最小壓力 e-6 mbar。我們的客戶曾經(jīng)使用皮拉尼/冷陰極組合真空計(jì),冷陰極監(jiān)測(cè)最小值和過程真空度。 然而,在e-3 mbar以上的連續(xù)運(yùn)行導(dǎo)致傳感器的早期磨損。

VSM 傳感器中,Thyracont Pirani 僅在非常低的壓力下激活冷陰極。此外,兩個(gè)傳感器之間的轉(zhuǎn)換可以根據(jù)應(yīng)用要求進(jìn)行配置。通過這種方式,我們實(shí)現(xiàn)了整個(gè)涂層過程現(xiàn)在由皮拉尼監(jiān)控。 冷陰極得以保存,因?yàn)樗鼉H在設(shè)備泵送至最小壓力時(shí)才處于活動(dòng)狀態(tài)。涂料廠的可用性顯著提高。




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