Pfeiffer 分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺
真空探針臺一般用于復(fù)雜, 高速精密器件進(jìn)行表面觀測以及各種性能測試的儀器, 通過測試可以保障產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本. 探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè), 光電行業(yè), 集成電路以及封裝的測試
為什么需要真空環(huán)境?
1. 真空探針臺通過搭配分子泵組, 配合真空吸附卡盤及真空吸附探針座的使用, 通過空氣壓縮, 固定樣品及探針座.
2. 由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測, 水氣將會出現(xiàn)并且將會凍結(jié)晶圓. 水氣會影響測量, 導(dǎo)致測量失敗. 真空腔中的水氣需要通過真空泵排出.
3. 當(dāng)晶圓加熱超過 300攝氏度, 400攝氏度, 500攝氏度或者更高溫度時, 會發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化. 溫度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化將使晶圓降低電學(xué)性, 物理性和機(jī)械性. 真空腔中的氧氣需要通過分子泵組來排出.
上海伯東渦輪分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺客戶案例: 某企業(yè)通過上海伯東推薦采購德國 Pfeiffer 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵與隔膜泵結(jié)合, 整機(jī)設(shè)計(jì), 即插即用, 提供清潔, 低振動, 穩(wěn)定的高真空環(huán)境.
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)分子泵組 HiCube Eco 技術(shù)規(guī)格
| 泵組型號 | 進(jìn)氣法蘭 | 分子泵 | 抽速 | 極限真空 | 前級泵型號 | 前級泵 |
| Hicube 80 Eco | DN 40 ISO-KF | HiPace 80 | 35 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 0.5 |
| DN 63 CF-F | HiPace 80 | 67 | 1X10-8 | MVP 015-2 | 1 | |
| DN 63 ISO-K | HiPace 80 | 67 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 1 |
Pfeiffer 渦輪分子泵組整體模塊化設(shè)計(jì), 內(nèi)部集成前級泵和分子泵, "即插即用", 抽速范圍 35 至 685 L/S, 極限真空 5X10-10 hPa, 提供經(jīng)濟(jì)型分子泵組 ECO, 標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Classic 和高性能渦輪分子泵組 Pro 滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 真空計(jì)共同使用.
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