低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子.分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂,從而使其降解。采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時,等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子(原理)發生非彈性碰撞,將能量轉化成基態分子(原子)的內能,發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。污染介質在等離子體的作用下,產生活性自由基,活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時,分子鏈斷裂,污染介質分解,并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中,可能發生各類型的化學反應,這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。
低溫等離子凈化器內部裝有*的碰吸單元,截留去除廢氣中的顆粒物質,廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置,在高壓等離子電場的作用下,電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化,帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內,氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌,并去除了異味,有害氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。