
JCL-ZDPY可方便地在帶載情況下通過直流電壓和脈沖電壓實現直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調節,可控制成膜溫度增加膜基結合力,提高沉積和高品質鍍膜系統。
1、DSP數字化控制/精度高/重復性好,配有控制面板和控制程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護。
3、控制方式:恒壓、恒流、恒功率。
4、風冷
5、根據用戶要求預留光纖通訊接口(遠控功能)
主要參數
負脈沖工作電壓可分為A、B兩檔,每一檔內的電壓連續可調,脈沖上升、下降快,脈沖幅值穩定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流電壓:20V~200V連續可調、自動穩壓、穩壓精度1%
脈沖頻率:20KHz~40KHz(連續可調或定額)
脈沖占空比:10%~80%(連續可調)
型號 | 功率 | 工作電壓電流(脈沖) | 脈沖頻率 | 占空比 | 冷卻方式 | 工作電壓電流(直流) |
ZDPY-5 | 5kW | 100~1000V/4A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 風冷 | 20~200V/5A |
50~500V/8A | ||||||
25~250A/16A | ||||||
ZDPY-10 | 10kW | 100~1000V/8A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 風冷 | 20~200V/10A |
50~500V/16A | ||||||
25~250A/32A | ||||||
ZDPY-20 | 20kW | 100~1000V/16A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 水冷 | 20~200V/20A |
50~500V/32A | ||||||
25~250A/64A | ||||||
ZDPY-30 | 30kW | 100~1000V/24A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 水冷 | 20~200V/30A |
50~500V/48A | ||||||
25~250A/96A | ||||||
ZDPY-50 | 50kW | 100~1000V/40A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 水冷 | 20~200V/50A |
50~500V/80A | ||||||
25~250A/160A | ||||||
ZDPY-70 | 70kW | 100~1000V/56A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 水冷 | 20~200V/70A |
50~500V/112A | ||||||
25~250A/224A | ||||||
ZDPY-100 | 100kW | 100~1000V/80A | 20~40kHz連續可調 或定頻40kHz | 10%~80% 連續可調 | 水冷 | 20~200V/100A |
50~500V/160A | ||||||
25~250A/320A |