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TTS-4000 EFEM(4工位EFEM)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱沈陽新松機器人自動化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質經(jīng)銷商
  • 更新時間2023/6/5 18:38:18
  • 訪問次數(shù)378
產(chǎn)品標簽:

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新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)隸屬*,是一家以機器人技術為核心,致力于全智能產(chǎn)品及服務的高科技上市企業(yè),是中國機器人產(chǎn)業(yè)*名的核心牽頭企業(yè),也是機器人產(chǎn)品全的廠商,國家機器人產(chǎn)業(yè)化基地。新松公司成立于2000年,本部位于沈陽,在上海設有總部、在北京設有投資總部,在沈陽、上海、杭州、青島建有產(chǎn)業(yè)園區(qū),現(xiàn)已在全國六大區(qū)域構建了立體化的研發(fā)及服務網(wǎng)絡。同時,積極布局市場,在中國香港、新加坡等區(qū)域設立子公司。公司現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團隊,形成以自主核心技術、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的完整全產(chǎn)業(yè)價值鏈。目前,公司總市值位居同位,成長性機器人行業(yè)罕見!

作為中國機器人產(chǎn)業(yè)的翹楚和工業(yè)4.0的踐行者與推動者,成功研制了具有*自主知識產(chǎn)權的工業(yè)機器人、移動機器人、特種機器人、服務機器人四大系列百類產(chǎn)品,面向智能裝備、智能物流、智能工廠、智能交通,形成八大產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。為3000余家跨國企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級服務,已累計出口32個國家和地區(qū),與一帶一路17個國家和地區(qū)有深切合作。其中,移動機器人綜合競爭實力突出;潔凈(真空)機器人打破*封鎖,*中國在該領域的空白;工業(yè)機器人在*領域批量應用;服務機器人業(yè)已銷往海內外。

新時代、新業(yè)態(tài)。新松未來將本著大產(chǎn)業(yè)、大平臺發(fā)展戰(zhàn)略,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈與一體的生態(tài)體系。助推智能產(chǎn)業(yè)裂變式發(fā)展,擔當保障民族實業(yè)崛起之重任,惠享智時代!

協(xié)作機器人,移動機器人,工業(yè)機器人
一體化程度高,自動化程度高,安全區(qū)保護,SEMI認證S2、F47,網(wǎng)絡化控制器,接口可用戶定制。
TTS-4000 EFEM(4工位EFEM) 產(chǎn)品信息

新松一直致力于提供半導體晶圓加工和其他復雜的制造環(huán)境所需的高性能、超潔凈和久經(jīng)考驗的可靠性。該四工位EFEM是集成大氣機器人,預對準機以及緩存工位等部件的綜合性產(chǎn)品,可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產(chǎn)品具有很強的適應性,以滿足特定的應用需求。推動了國內半導體產(chǎn)業(yè)鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發(fā)展。滿足半導體制造商的期望和要求。

參數(shù):

Input信息

Wafer規(guī)格

材質尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

標準wafer

溫度

200

與傳送片接觸處的材質

陶瓷

片盒規(guī)格(類型、廠家、段數(shù)、段間距等)

Foup

AMHS(自動物料搬送系統(tǒng))要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(shù)(LP數(shù))

4

Load Lock

Stage數(shù)(LL

4

位置(XYZ

四個LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機規(guī)格

參照尺寸說明

Foot Print

2575

750

2500

重量

1600KG

整機設計參照標準

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設計參考標準

SEMI E30, E84


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