深圳市托理拆利機電設備有限公司是英國Edwards愛德華真空泵shou權代理商，為客戶24小時提供技術支持及售后服務，針對各個行業工藝端設計提供適合的負壓真空系統解決方案，為光伏真空設備、科研真空設備、實驗室真空設備、科學儀器真空設備、半導體真空設備、鋰電池真空設備、工廠高真空設備、學校高真空設備提供優化的真空解決方案。技術服務：1,3,8,二,3,七,八,8,3,8,零。

光伏拉晶真空泵、電池鍍膜、組件層壓愛德華SL800爪式真空泵應用

需求背景：光伏行業真空泵；用于拉晶工藝、電池鍍膜、組件層壓等。

隨著光伏行業的發展，真空泵為光伏設備關鍵部件，設備中的真空穩定性是工藝穩定的關鍵技術之一；光伏用真空泵主要為干式真空泵、螺桿真空泵、爪式真空泵與羅茨真空泵；真空泵主要應用于硅片拉晶，電池片高方阻擴散（低壓擴散爐）和PVD、PECVD鍍膜工藝，組件層壓環節等。光伏電池主要分為：硅料制程、硅片制程、電池片制程和組件制程。

根據某光伏行業實際項目需求，深圳市托理拆利機電設備有限公司推薦選用了Edwards愛德華SL800爪式真空泵、GXS系列、iXH系列真空泵，用于光伏拉晶環節與電池片環節。

Edwards SL800爪式真空泵該真空泵適用于超嚴苛制程工藝，主要表現在內部結構沿用了 iXH 系列干泵類似設計如爪式干泵、大扭力電機、氮氣吹掃、 多種通訊方式支持等特性，有效處理工藝帶來的殘留氣體和副產物對泵的影響，確保泵的長時間穩定工作，SL800(X) 型號作為 800m3/hour 級別抽速的高溫泵類型，針對于 PECVD Nitride （SiH4+NH3）鍍膜工藝，也可應用于 LPCVD、ICP Etch 等工藝上； SL800X 相對于 SL800 增加了內部加熱帶，可進一步提高泵內部溫度，適合 Metal/PSS etch 等工藝，可有效防止副產物冷凝。

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