深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司提供真空領(lǐng)域技術(shù)及產(chǎn)品服務(wù)的gao xin ji shu企業(yè)，公司擁有合工大真空系專業(yè)背景組成的技術(shù)團(tuán)隊，具備國際化視野和多年真空應(yīng)用實戰(zhàn)經(jīng)驗，在真空泵選型及真空系統(tǒng)設(shè)計方面有豐富的積累與創(chuàng)新。TORRY專注于真空檢漏、真空系統(tǒng)領(lǐng)域的技術(shù)型專業(yè)供應(yīng)商，是英國Edwards愛德華真空泵shou quan代理商，為科研真空設(shè)備、科學(xué)儀器真空設(shè)備、實驗室高真空設(shè)備、半導(dǎo)體真空設(shè)備、光伏真空設(shè)備、鋰電池真空設(shè)備、工廠高真空設(shè)備、學(xué)校高真空設(shè)備提供優(yōu)化的真空解決方案。技術(shù)服務(wù)：138，237，883，80

電子顯微鏡Edwards愛德華真空泵nXDS10i、nXDS15i應(yīng)用案例介紹

電子顯微鏡用真空泵做什么?

真空對電子顯微鏡有非常重要的作用，電子顯微鏡工作時，整個電子束路徑與待分析的樣品一起都會置于高真空的環(huán)境，如果真空度不夠高，電子槍的柵極與陽極間可能會產(chǎn)生極間放電進(jìn)而燒斷燈絲，電子束與殘留空氣粒子發(fā)生碰撞還會導(dǎo)致散射，這種散射會導(dǎo)致電子束中的電子無法到達(dá)樣品，或者分析失真。

電子顯微鏡真空案例介紹

2022年4月，根據(jù)用戶實際項目需求，深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司給用戶選用了幾套愛德華（Edwards）nXDS真空泵，該真空泵應(yīng)用于電子顯微鏡，為了使電子束中的電子盡量不受阻礙地移動，電子顯微鏡的真空度通常需要達(dá)到1E-7mbar量級的高真空，甚至1E-10mbar量級的超高真空；除了真空度，真空泵工作時的振動水平也非常關(guān)鍵，由于電子束的截面小，在樣品上的定位精度很高，只有處于振動水平極低的環(huán)境中，才能保持這種精度；另外，為了避免油蒸汽污染樣品或顯微鏡內(nèi)部元件，愛德華（Edwards）nxds系列干泵是該工藝工作環(huán)境的理想選擇。

nXDS10i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能。

愛德華（Edwards）nXDS系列干式渦旋泵應(yīng)用在哪些地方？

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負(fù)載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學(xué)儀器

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