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SAL3000HV系列晶圓校準器

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2019/11/7 14:18:32
  • 訪問次數2627
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北京銳潔機器人科技有限公司位于中國半導體行業中心地北京亦莊經濟技術開發區,是由優秀的留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。
  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。
  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比優秀、穩定性好的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。
  作為日本JEL公司在中國地區的*合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。

小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂
SAL3000HV系列晶圓校準器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。
SAL3000HV系列晶圓校準器 產品信息

SAL3000HV系列晶圓校準器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。

使用了新技術的可用于多種材質晶圓的新產品
 

  • 可適用于硅片,帶BG膠帶(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準
  • 使用自主研發的圖像識別傳感器,采用了控制器和電機驅動器集成到設備本體內部的一體化設計
  • 可以根據晶圓尺寸,材質更改Spindle的直徑,形狀和材質可以使用伯努利吸附方式
  • 控制方式:串口RS232C或者并口光學I/O口
  • 不符合SEMI規格的缺口,缺邊形狀也可以提供定制設計
  • 能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求

SAL3000HV系列晶圓校準器

應用設備實例

PE-CVD設備;AOI設備

規格

被搬運物SEMI規格 晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓)
(其他可根據特殊晶圓的形狀,材質為客戶提供靈活的定制設計)
2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV)
100-200 mm (SAL3482HV)
200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度晶圓中心:±0.1 mm以內
晶圓缺邊(缺口):±0.1度以內
位置確定所需時間3秒(不包括晶圓的取放時間)
傳感器LED燈照明+圖像識別傳感器的方式對晶圓邊緣進行檢測
位置校正范圍半徑4mm以內
晶圓吸附方式真空吸附式
潔凈度ISO標準 Class 2(驅動結構內部獨立排氣條件下)
質量大約10 kg
廠務電源:DC24V±10% 3A 真空:-53 kPa以上
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