SAL3261GR晶圓對應光學式校準器適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓位置的校準。可用于LED行業藍寶石晶圓的搬運。
- 高速,高精度地定位小尺寸晶圓(透明,半透明,硅片)的中心以及缺邊
- 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
應用設備實例
MOCVD設備;AOI設備
SAL3261GR晶圓對應光學式校準器
規格
被搬運物 | SEMI規格 2, 3寸 100~150 mm硅片以及透明晶圓 |
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*缺邊 | |
位置確定所需時間 | 定位晶圓中心:3 sec |
位置精度 | 晶圓中心:±0.2mm以內 晶圓缺邊:±0.2度以內 |
傳感器 | 可視光半導體激光傳感器 |
晶圓尺寸切換 | 命令控制方式或者通信方式 |
潔凈度 | ISO標準 Class 2(驅動結構內部獨立排氣條件下) |
動力 | 3軸使用2相步進電機, 電機控制器和脈沖發生器安裝在本體內部 |
廠務 | 電源:DC24V±10% 3A 真空:優于-53 kPa |